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MEMS技术与产品解析&加速度计工作原理

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课程简介

演示文稿中介绍了加速度在生活中的现象,并基于生活中的加速度现象引申到MEMS加速度计的工作原理。详细介绍了胡克定律和牛顿第二定律,以及如果结合这两个定律来推导出加速度的测量方法。演示文稿中还给出了芯片级加速度计的运动示意,以及它的一些设计方法,难点和信号链。